MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動(dòng)單元

　　MM3A納米顯微操作儀以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內(nèi)操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用，使得對(duì)樣品的研究更深一步。MM3A的移動(dòng)范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動(dòng)，Z軸可作12mm的伸長(zhǎng)，整個(gè)空間的移動(dòng)范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)全部由壓電陶瓷來(lái)實(shí)現(xiàn)，由此保證了Z軸每個(gè)步進(jìn)的精度可達(dá)0.5nm，當(dāng)采用快速移動(dòng)模式時(shí)，速度可達(dá)到2mm/s，可以說(shuō)是同時(shí)兼具了高精度和率，的大行程設(shè)計(jì)，使得Z軸總行程可達(dá)到12mm，納米級(jí)的移動(dòng)精度、厘米級(jí)的移動(dòng)范圍是MM3A的zui大特點(diǎn)。
　　MM3A納米顯微操作儀特點(diǎn)介紹：
　　1.壓電陶瓷納米馬達(dá)
　　2.納米級(jí)分辨率
　　3.厘米級(jí)移動(dòng)范圍
　　4.體積小
　　5.無(wú)漂移
　　MM3A納米顯微操作儀采用壓電陶瓷技術(shù)（PZT）, 提供多種型號(hào)(PCS-5000---PCS5400系列)，適用于要求較高的膜片鉗和顯微注射實(shí)驗(yàn)：
　　*步進(jìn)平穩(wěn)，避免了水壓，油壓操作儀不可避免的漂移問(wèn)題 ，一小時(shí)內(nèi)漂移不超過(guò)1微米
　　*單軸或三軸微調(diào)控制，在水平和垂直平面可多角度旋轉(zhuǎn)，更適合膜片鉗電極的快速更換
　　*微調(diào)行程300微米，粗調(diào)行程25mm，zui小控制位移60納米。
　　*良好的電學(xué)屏蔽設(shè)計(jì)，適于膜片鉗實(shí)驗(yàn)的低噪聲記錄。
　　MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動(dòng)單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它zui大的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級(jí)移動(dòng)，在保證納米級(jí)移動(dòng)的同時(shí)其的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米級(jí)的移動(dòng)范圍，整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。